Меньший технологичный процесс делает меньшие детали внутри процессора. Тут надо обьяснить в чем крутота маленьких деталей: увеличивается скорость переключения транзисторов за счет возрастания так называемого тока активности.

Меньше потребление энергии. Тут вопрос не столько «жалко энергии», а проблема отвода такого громадного количества тепла с маленьгого кусочка кремния. Меньшее количество напряжения = меньшее количество тепла. Вполне логично что с маленького кусочка 5 кДжоулей отвести сложнее чем с большого, но 2кДжоуля с 65нм отвести легче чем 5кДж с 90нм. Немного утрирую что бы донести основную мысль.

При тактовой частоте 3ГГц свет (и электромагнитное взаимодействие) успевает распространиться на расстояние 10 сантиметров, но поскольку взаимодействие распространяется по процессору не напрямик, а по сложным траекториям, то максимально допустимый размер процессора будет не 70x70 mm, а меньше, например, Xeon'а — 42.5mm x 45mm, это в корпусе, размеры самой микросхемы — примерно 16x16mm. И это практически предел.